[发明专利]一种DBR蒸镀改进工艺无效
| 申请号： | 201210456775.0 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103805946A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 毛华军 | 申请（专利权）人： | 毛华军 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省烟*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种DBR蒸镀改进工艺，其特征在于，所述工艺改进参数如下：采用200摄氏度恒温镀膜，氧化钛腔室通氧量25sccm，转速19rpm，起始真空度6.0E-6Torr，三氧化二铝、氧化硅蒸镀速率为3A/S，氧化钛为2A/S。本发明通过改进蒸镀温度，加快了蒸镀速度，对转速及真空度进行了优化，保证了蒸镀的稳定性，大大降低了掉背镀的现象，提高了产品的良率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dbr 改进 工艺 | ||
【主权项】：
一种DBR蒸镀改进工艺，其特征在于，所述工艺改进参数如下：采用200摄氏度恒温镀膜，氧化钛腔室通氧量25sccm，转速19rpm，起始真空度6.0E‑6Torr，三氧化二铝、氧化硅蒸镀速率为3A/S，氧化钛为2A/S。
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