[发明专利]四脒基金属(IV)化合物及其在气相沉积中的用途无效
| 申请号： | 201210461421.5 | 申请日： | 2007-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN102993050A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | R·G·戈登;J-S·莱恩;H·李 | 申请（专利权）人： | 哈佛学院院长等 |
| 主分类号： | C07C257/14 | 分类号： | C07C257/14;C23C16/34;C23C16/40 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王贵杰 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 合成并表征了四(N,N’-二烷基脒基)金属(IV)。示例性金属包括铪、锆、钽、铌、钨、钼、锡和铀。这些化合物是挥发性，高热稳定的，且适用于金属与它们的氧化物、氮化物和其他化合物的气相沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 基金 iv 化合物 及其 沉积 中的 用途 | ||
【主权项】：
1.具有如下结构式的化合物：![]()
其中，M选自+4氧化态的锡、铌、钨、钼、铀、铼、铂、锇、铱、钌、钯、钛、铑、钒、铈和铅，且R1到R12各自独立地选自氢、烃基、取代的烃基、烷基甲硅烷基和烷基氨基。
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