[发明专利]一种方形蓝宝石晶体的生长方法及设备

摘要

本发明揭示了一种方形蓝宝石晶体的生长方法及设备，所述方法包括如下步骤：步骤S1：将设定重量的高纯氧化铝块料或粉料装入坩埚中，然后将坩埚置于晶体生长炉内；步骤S2：将晶体生长炉抽真空；步骤S3：通过加热器控制晶体生长炉升温，使氧化铝原料熔化为熔体；步骤S4：选用定向籽晶，将定向籽晶固定在坩埚的中心位置，温度合适后引晶；步骤S5：引晶结束后，向上提拉籽晶，开始晶体生长；步骤S6：长晶结束后，缓慢降温；步骤S7：炉内温度降至设定温度后，取出晶体，切割并加工成所需尺寸的晶片。本发明提出的蓝宝石晶体的生长方法及设备，可制得方形、圆形等形状的蓝宝石晶体，在制得高质量晶体的同时，有效提高蓝宝石晶体的利用率。

主权项

一种方形蓝宝石晶体的生长方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤S1：将设定重量的高纯氧化铝块料或粉料装入方形坩埚中，然后将方形坩埚置于晶体生长炉内；步骤S2：将晶体生长炉抽真空，使晶体生长炉内的真空度低于6×10^‑3Pa；步骤S3：通过加热器控制晶体生长炉升温至2000‑2100℃，待氧化铝原料熔化为熔体；步骤S4：选用定向籽晶，将定向籽晶固定在坩埚的中心位置，保证定向籽晶c面平行于坩埚长边对应的平面，确定温度合适后开始引晶；步骤S5：引晶结束后，以0.1~3mm/h的速度向上提拉籽晶，开始晶体生长；步骤S6：长晶结束后，以10~50℃/h的速度缓慢降温；步骤S7：炉内温度降至室温后，取出方形晶体，切割并加工成所需尺寸的晶片。