[发明专利]一种太阳能电池及其扩散方法有效
| 申请号： | 201210461743.X | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102925982A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 范志东;张小盼;赵学玲;李倩 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/08 | 分类号： | C30B31/08;C30B31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种太阳能电池及其扩散方法，该方法包括：将硅片放入扩散炉中，将扩散炉内温度升温至750℃~800℃，包括端点值，向扩散炉内通源进行磷扩散，向硅片中扩散磷的量基本为，在当前扩散炉内温度下的磷在硅片中的最大固溶度；将扩散炉内温度升温至810℃~820℃，包括端点值，使磷向硅片内部扩散；将扩散炉内温度升温至840℃~850℃，包括端点值，升温过程中通源，以进行变温扩散；保持升温后的温度，通入氧气以进行高温推进，直至磷在硅片中的扩散量达到目标值，对扩散炉内进行降温后，打开扩散炉取出硅片。采用本方法生产的电池片，表面磷杂质浓度低，“死层”厚度小，磷浓度分布梯度大，转换效率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 及其 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：A、将硅片放入扩散炉中，将扩散炉内温度升温至750℃~800℃，包括端点值，向扩散炉内通源进行磷扩散，向硅片中扩散磷的量基本为，在当前扩散炉内温度下的磷在硅片中的最大固溶度；B、将扩散炉内温度升温至810℃~820℃，包括端点值，使磷向硅片内部扩散；C、将扩散炉内温度升温至840℃~850℃，包括端点值，升温过程中通源，以进行变温扩散；Ｄ、保持步骤C升温后的温度下，通入氧气以进行高温推进，直至磷在硅片中的扩散量达到目标值，对扩散炉内进行降温后，打开扩散炉取出硅片。
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