[发明专利]EB炉熔炼过程中EB枪气体流量控制的方法无效

专利信息
申请号: 201210462938.6 申请日: 2012-11-16
公开(公告)号: CN103021780A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 苏鹤洲;李志敏;卞辉;杨兴灿;杨超 申请(专利权)人: 云南钛业股份有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 昆明大百科专利事务所 53106 代理人: 何健;张代民
地址: 651209 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: EB炉熔炼过程中EB枪气体流量控制的方法,本发明步骤为,1)将电子枪的中间腔抽真空,直到中间腔真空计读数在5×10-4hPa以下;观察电子枪流量控制器读数,直到流量控制压力值显示在10-6mbar以下且稳定;2)启动电子枪,并发射电子束,观察电子束的形态:由上至下逐渐变粗,整体适中;颜色为亮蓝色;等。本工艺方法的有益效果是:通过气体流量控制装置改变中间腔内剩余空气的流量来达到让电子束更好的产生自聚焦作用,稳定电子束的发射状态,减少电子束的能量损失,进而达到提高熔炼效率和熔炼质量,保护电子枪的目的。
搜索关键词: eb 熔炼 过程 气体 流量 控制 方法
【主权项】:
EB炉熔炼过程中EB枪气体流量控制的方法,其特征在于,步骤为,1)、将电子枪的中间腔抽真空,直到中间腔真空计读数在5×10‑4hPa以下;观察电子枪流量控制器读数,直到流量控制压力值显示在10‑6mbar以下且稳定;2)、启动电子枪,并发射电子束,观察电子束的形态:由上至下逐渐变粗,整体适中;颜色为亮蓝色;3)、当上诉条件都达到并启动电子束时后,打开气体流量控制器开关,将流量控制数值从起始数值5×10‑6mbar L/S逐渐调整到5×10‑2mbar L/S;观察电子束轮廓形态,如轮廓不明显,形态整体偏大,电子束颜色逐渐呈现红色,则说明电子束没有调整到最佳状况,流量控制没有达到最佳效果;4)、进一步调整气体流量控制器数值,从5×10‑2mbar L/S逐渐调整到6×10‑1mbar L/S;在此过程中任一阶段,如果电子束轮廓明显、形态适中,并呈现出亮蓝色,则说明电子束调整到最佳状况,流量控制达到预想效果,即停止调整气体流量;5)、在电子束发射运行过程中,随着使用时间的增加、环境温度的变化,气体流量需要随时调整,但通常会稳定在一个压力段上,即5×10‑2mbar L/S—6×10‑1mbar L/S之间;调整的标准是电子束轮廓明显,形态适中,呈现亮蓝色并不会发出刺眼的光束。
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