[发明专利]图像传感器

摘要

本发明公开了图像传感器。图像传感器包括位于基底的第一表面上并且具有多层结构的第一绝缘层间结构。第一布线结构位于第一绝缘层间结构中。通孔接触塞从基底的第二表面延伸，并且穿透基底以电连接到第一布线结构。滤色器和微透镜堆叠在基底的第一区域中的第二表面上。第二绝缘层间结构位于基底的第二区域中的第二表面上。第二布线结构位于第二绝缘层间结构中，以电连接到通孔接触塞。焊盘图案电连接到第二布线结构并且具有上表面，通过所述上表面施加外部电信号。光电二极管在第一区域中位于第一布线结构和第二布线结构之间。

主权项

一种图像传感器，所述图像传感器包括：第一绝缘层间结构，位于第一基底的第一表面上并且具有多层结构；第一布线结构，位于第一绝缘层间结构中；通孔接触塞，从第一基底的与所述第一表面背对的第二表面延伸，并且穿透第一基底以电连接到第一布线结构；多个滤色器和多个微透镜，堆叠在第一基底的第一区域中的第二表面上；第二绝缘层间结构，位于第一基底的第二区域中的第二表面上；第二布线结构，位于第二绝缘层间结构中，以电连接到通孔接触塞；焊盘图案，电连接到第二布线结构并且具有上表面，通过所述上表面施加外部电信号；多个光电二极管，在第一基底的第一区域中并且对应于所述多个微透镜中的每个微透镜位于第一布线结构和第二布线结构之间；以及多个晶体管，位于第一基底的第二区域中的第二表面上，其中，所述多个晶体管电连接到第二布线结构并且构成多个第二外围电路。