[发明专利]压电驱动膜片式高温热熔微喷点胶装置

摘要

压电驱动膜片式高温热熔微喷点胶装置，属于机械工程、微电子封装和微电子元器件制作技术领域。以压电陶瓷为驱动部件，推动驱动膜片变形挤压喷嘴腔内的微喷材料，使流体压力急剧变化而规律性喷出，形成微滴点胶。通过计算机信号驱动压电陶瓷，能够精确控制微滴点胶的产生。通过加热装置和温控系统调节微喷材料的温度以改变其粘度。将喷射机构和驱动机构独立设计分别安装在机架上，并在驱动机构和加热区之间隔热，减小压电陶瓷温度特性对装置加热温度的限制，使微喷材料能加热到较高温度。本发明装置推力大，产生微滴点胶尺寸小且精密可控，适用于高温度下低、高粘度微喷材料，在微电子封装、微型光学元器件制作领域具有极大的应用和发展前景。

主权项

一种压电驱动膜片式高温热熔微喷点胶装置，包括储料机构、喷射机构、驱动机构和机架，其特征在于：储料机构包括气接头（1）、储料腔端盖（2）、密封圈（3）、储料腔（4）、加热圈（5）、隔热套（7），气接头（1）与储料腔端盖（2）上端螺纹连接，储料腔端盖（2）下端通过螺纹与储料腔（4）上端连接，微喷材料（6）置于储料腔（4）内，储料腔（4）底部加工成锥状，储料腔端盖（2）内加工有密封沟槽，密封圈（3）安装在密封沟槽内，加热圈（5）套装在储料腔（4）的外壁，隔热套（7）封装在加热圈（5）外围；喷射机构包括两根加热棒（9）、热电偶（10）、基座（12）、驱动膜片（18）、膜片紧压件（19），基座（12）是用不锈钢材质制成的方形体结构，储料腔（4）下端通过螺纹连接安装到基座（12）内，从基座（12）左端面向内加工供料流道（13），供料流道（13）沿轴方向倾斜，在基座（12）与储料腔（4）的安装端面上加工与储料腔（4）底端内孔大小一致的流道，储料腔（4）与供料流道（13）连通，供料流道（13）左端通过螺纹安装热电偶（10），热电偶（10）的测温探针插到供料流道（13）内，在基座（12）右端内加工有喷嘴腔（16），喷嘴腔（16）上端直径大，下端直径小呈锥状，其底部加工有微喷孔（15），基座（12）内在供料流道（13）前后两侧分别加工有深孔，加热棒（9）安装在深孔内，喷嘴腔(16)左侧加工有节流深孔(14)，供料流道(13)通过节流深孔(14)与喷嘴腔(16)连通，驱动膜片(18)和膜片紧压件(19)安装在喷嘴腔(16)的上端面，膜片紧压件(19)为阶梯环状，其轴肩上加工有螺钉孔，使用螺钉将膜片紧压件(19)固定在基座(12)内，膜片紧压件(19)下端面紧压在驱动膜片(18)上，喷嘴腔(16)右侧上端面加工有排气孔(17)；驱动机构包括推杆(20)、压电陶瓷定位件(21)、压电陶瓷(22)、紧固螺钉（24）、压电陶瓷安装座(25)、复位弹簧(26)、锁紧螺钉(27)、压电陶瓷连接件(28)、微调器安装件(29)、微调器(30)，压电陶瓷(22)下端是振动自由端，通过螺纹与推杆(20)连接，压电陶瓷(22)上端通过螺纹与压电陶瓷连接件(28)连接，压电陶瓷连接件(28)安装在压电陶瓷安装座(25)内，压电陶瓷安装座(25)内加工有柱状腔体，与压电陶瓷连接件(28)间隙配合，压电陶瓷连接件(28)沿柱状腔体上下滑动，压电陶瓷连接件（28）为阶梯轴状，其下端伸入复位弹簧（26）内，微调器（30）通过微调器安装件（29）安装在压电陶瓷安 装座（25）的顶部，压电陶瓷定位件（21）套装在压电陶瓷（22）的下端与压电陶瓷（22）间隙配合；基座（12）、压电陶瓷定位件（21）和压电陶瓷安装座（25）均固装在机架（23）上，第一隔热板（8）粘结安装在基座（12）上端面，第二隔热板（11）粘结安装在基座（12）与机架（23）之间。