[发明专利]一种气体纯化器有效
| 申请号： | 201210465889.1 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103816787A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 刘祥林 | 申请（专利权）人： | 刘祥林 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体纯化器。该纯化器包含一种液体合金(钾钠合金)材料，该材料放在一个不锈钢容器中。不锈钢容器上含有气体入口和气体出口，气体入口插入液体合金中，气体出口在液体合金上面。当气体通过液体合金中，气体中的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等含有氧元素的气体都被钾-钠合金吸收。在通过该纯化器后气体中，氧含量通常在ppb(十亿分之一)量级。在气体入口上含有一个防液体合金逆流装置，防止液体合金逆流从气体入口反向喷出。该纯化器可以纯化氢气、氮气、惰性气体(氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气等)，适合半导体工业中气体使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 纯化 | ||
【主权项】：
一种气体纯化器，其特征在于：该纯化器包含一种液体合金材料(1)，该液体合金材料放在一个不锈钢容器(2)中，不锈钢容器上含有气体入口(3)和气体出口(4)，气体入口(3)插入液体合金(1)中，气体出口(4)在液体合金(1)上面；当气体通过液体合金(1)中，气体中的含氧元素的杂质气体都被所述液体合金(1)吸收；在气体入口(3)上含有一个防液体合金逆流装置(5)，防止液体合金(1)逆流从气体入口反向喷出。
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