[发明专利]一种非球面光学元件抛光装置及抛光方法

摘要

一种非球面光学元件抛光装置及抛光方法，涉及一种机械加工抛光装置。设有底座、工作台旋转驱动电机、工作台翻转驱动电机、工作台旋转轴、三轴直线电机、三轴导轨、工作台翻转轴、工作台底座、工作台、立柱、横梁、Z轴底座、气囊工具和控制系统。抛光方法：气囊工具以两轴联动方式配合工作台的旋转完成对非球面光学元件上某点及其环带上其他点的抛光；工作台停止旋转，控制Z轴直线电机和工作台翻转驱动电机使元件上下一个抛光点的法线方向转至竖直方向，计算气囊工具在X轴方向需要进给的长度，并通过X轴直线电机完成；控制Z轴直线电机向下带动气囊工具以两轴联动方式配合工作台的旋转完成元件上下一个抛光点及其环带上其他点的抛光。

主权项

一种非球面光学元件抛光装置，其特征在于设有底座、工作台旋转驱动电机、工作台翻转驱动电机、工作台旋转轴、Y轴直线电机、Y轴导轨、工作台翻转轴、工作台底座、工作台、立柱、横梁、X轴导轨、X轴直线电机、Z轴底座、Z轴导轨、Z轴直线电机、气囊工具和控制系统；所述工作台底座直接与Y轴直线电机相连并通过Y轴导轨固定在底座上，Y轴直线电机驱动工作台底座沿Y轴导轨运动；工作台翻转轴直接与工作台翻转驱动电机相连并安装在工作台底座上，工作台通过工作台旋转轴与工作台翻转轴相连，工作台旋转轴与工作台旋转驱动电机相连，工作台可以进行旋转和翻转；2根立柱直接固定在底座上并通过横梁连接，横梁上安装有X轴导轨和X轴直线电机；Z轴直线电机、Z轴底座、Z轴导轨和气囊工具悬挂于X轴导轨上并可在X轴直线电机驱动下沿X轴导轨进行X方向的移动；Z轴直线电机固定在Z轴底座上方，气囊工具通过气囊工具底座固定在Z轴导轨上并可在Z轴直线电机驱动下沿Z轴导轨进行Z方向的移动；所述气囊工具设有2根旋转轴、2个旋转轴电机、上连接板、编码盘、编码盘连接轴、连接板连接轴、下连接板和气囊，所述2根旋转轴为气囊工具A轴和气囊工具B轴，所述2个旋转轴电机为气囊工具A轴电机和气囊工具B轴电机，气囊工具A轴电机通过气囊工具底座固定在Z轴导轨上，气囊工具A轴电机和气囊工具A轴连接并通过上连接板与编码盘相连，编码盘和下连接板通过编码盘连接轴连接，通过调节编码盘使编码盘连接轴旋转可以控制气囊工具B轴与非球面光学元件抛光点法线的夹角，上连接板和下连接板通过连接板连接轴连接，连接板连接轴不能旋转，下连接板连接气囊工具B轴和气囊工具B轴电机；X轴直线电机、Y轴直线电机、Z轴直线电机、工作台旋转驱动电机、工作台翻转驱动电机、气囊工具A轴电机、气囊工具B轴电机都与控制系统相连接并由控制系统统一调控。