[发明专利]一种引线键合机XY工作台结构

摘要

一种引线键合机XY工作台结构，属于半导体集成电路制造领域。这种引线键合机XY工作台结构省略掉传统结构左侧安装X向直线电机，巧妙的利用了在传统X基座下方用基座支撑结构的空间，这样键合头部分的所有重量都承载在X向直线电机动子上方的X向直线电机基座上面，因为不需要额外的机械连接，所以能够增加X方向的机械刚性和强度；本发明的这种结构的另一个好处就是机台的重心会向中间偏移，利于整个机台的稳定，从而大大增加了机器焊接的稳定性。

主权项

一种引线键合机XY工作台结构， 由矿物质铸件基座，Y向直线电机定子（1），Y向直线电机动子(2)， X向直线电机定子（3）， X向直线电机动子（4），X向基座（5），Y向基座（6），Y向交叉滚子（111），X向交叉滚子（114‑115），Y向直线电机动子散热器（112）组成；矿物质铸件基座为人造理石铸造而成的三层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有垂直方向的走线孔用于导线安装；第二层台阶水平表面提供了X向交叉滚子安装面（113），第二层台阶水平表面还开有X向直线电机交叉滚子安装孔(70‑79)和预留X向直线电机安装凹槽(8)；在X向直线电机安装凹槽(8)的底部预留X向直线电机定子安装孔（21‑24），在凹槽(8)侧面开有X向直线电机动子走线凹槽（10）；第三层台阶水平表面上开有Y向直线电机定子安装孔(51‑56) ；其特征在于：引线键合机构由Y向直线电机定子（1），Y向直线电机动子(2)， X向直线电机定子（3）， X向直线电机动子（4），X向基座（5），Y向基座（6），交叉滚子安装螺丝， Y向交叉滚子（111），X向交叉滚子（114‑115），Y向直线电机动子散热器（112）组成； Y向直线电机定子（1）用螺丝通过Y向直线电机定子安装孔（51‑56）固定在矿物质铸件基座上；X向直线电机定子（3）用X向直线电机定子安装螺丝（101）通过X向直线电机定子安装孔（21‑24）安装进X向直线电机安装凹槽（8）里面；用螺丝（102）通过基座（5）上的X向直线电机动子安装螺丝孔（116）将X向直线电机动子(4)和X向基座（5）固定在一起；X向交叉滚子安装螺丝（90‑99）通过X向交叉滚子螺丝安装孔（80‑89）将X向交叉滚子（114‑115）的一侧固定在由矿物质材料铸成的X向交叉滚子安装面（113）上；用X向交叉滚子安装螺丝（103）将X向交叉滚子（114‑115）的另一侧和X向基座（5）固定在一起，这样就组成了XY工作台的X向运动机械结构；用Y向交叉滚子安装螺丝（104）将Y向交叉滚子（111）的一侧安装到Y向基座（6）上，用Y向交叉滚子安装螺丝（105）将Y向交叉滚子（111）的另一侧固定到X向基座（5）上，将Y向直线电机动子散热器（112）和Y向直线电机动子（2）的对齐边对齐，用Y向直线电机动子安装螺丝（106）将其固定在Y向基座（6）上，这样就实现了XY工作台在X和Y方向上的机械解耦。