[发明专利]剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置

摘要

本发明涉及一种剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置，基片传动箱上方安装有抽风管和若干药液喷淋，下方为传送滚轮，传送滚轮下方设有网状加热管，加热管下面为网状消泡棉，箱体底部设有药液排放口，基片传动箱的两个侧面有连接前后工序的用于玻璃基片传送的通道开口，药液槽上的药液回流口置于药液液位之下，药液槽药液的上方装有新药液喷淋，药液排放口通过管道连通药液槽，药液槽的出液口通过管道与喷淋泵连接，通过供液管道连接基片传动箱的喷淋，形成一个完整的供液系统；消泡装置可以保证生产过程中产生的泡沫绝大部分都破灭，对生产工艺进行配合，且不污染药液，从而保证生产的正常进行，提高产品品质。

主权项

剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置，包括生产线中的基片传动箱和药液槽，其特征在于，基片传动箱上方安装有抽风管和若干药液喷淋，药液喷淋的下方为传送滚轮，传送滚轮下方设有网状加热管，网状加热管下面为网状消泡棉，基片传动箱底部设有药液排放口，基片传动箱的两个侧面有连接前后工序的用于玻璃基片传送的通道开口，药液槽上的药液回流口置于药液液位之下，药液槽药液的上方装有添加新的冷药液的喷淋；    基片传动箱底部的药液排放口通过管道连通药液槽，药液槽的出液口通过管道与喷淋泵连接，喷淋泵通过供液管道连接生产线机体的药液喷淋，形成一个完整的供液系统；使用剥膜显影液KOH/NaOH的消泡装置对生产过程中剥膜显影液KOH/NaOH产生的泡沫进行消泡的方法，包括如下步骤： ａ)选用KOH或NaOH为剥膜显影液，剥膜显影液通过药液喷淋冲刷运行在滚轮上的玻璃基片；ｂ)玻璃基片上有光刻胶，剥膜显影液与光刻胶发生反应并从玻璃基片上冲刷流下，产生很多泡沫，参加反应后的剥膜显影液和泡沫流下，落在网状加热管上，气泡瞬间接触加热温度为80～180度的网状加热管时破裂； ｃ)参加反应后的剥膜显影液和剩余的泡沫通过网状加热管下方的网状消泡棉时，利用网状消泡棉内部弯曲结构，增加药液和气泡流下的流动路径、增加气泡和网状消泡棉的摩擦，使一部分泡沫破裂，另一部分泡沫被滞留在网状消泡棉的网内，经过上面不断流下的经网状加热管高温加热的剥膜显影液的冲刷，再使部分泡沫随之而破裂；ｄ)通过抽风管抽走基片传动箱内的空气和水气，将部分气泡抽走，造成箱体内负压，对泡沫的破裂产生加速作用；e)剥膜显影液通过管道流回药液槽，管道中填充了网状消泡棉，继续增加促使泡沫破裂的流动路径，药液回流管出口置于剥膜显影液液面以下，减少因下流速度太快而产生新的气泡；f)在药液槽的上面，装有添加新剥膜显影液的新药液喷淋，喷出剥膜显影液的形状为伞形，以增加药液喷洒的面积，新的剥膜显影液的温度为0～20度，剩余的泡沫会漂浮在药液槽上表层，热的泡沫接触喷洒出来的冷药液后因冷热温差而破裂，完成了整个体系中最后的除泡过程。