[发明专利]氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法

摘要

一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或C_nH_2n+1。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。

主权项

1.一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，所述氧化锌前驱体包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：其中R1和R2为氢或C_nH_2n+1。