[发明专利]微机械功能装置、尤其扬声器装置、以及相应的制造方法在审
| 申请号： | 201210470864.0 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN103130176A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | R.埃伦普福特;M.布吕恩德尔;A.格拉希;C.莱嫩巴赫;S.克尼斯;A.法伊;U.肖尔茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/04;B81C1/00;H04R19/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李少丹;刘春元 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机械功能装置、尤其扬声器装置和一种相应的制造方法。该功能装置、尤其扬声器装置包含有一个具有上侧（O）和下侧（U）的衬底（5；5`）、至少一个安置在该第一孔穴（K`）中底侧（U）上的电路芯片（30）、安置在第二孔穴（K）中在上侧（O）上的具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c）的微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）、以及设置在该微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）上侧（O）的覆盖装置（20）。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 功能 装置 尤其 扬声器 以及 相应 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械功能装置，尤其扬声器装置，其具有：衬底（5；5`），其具有上侧（O）和底侧（U）；安置在该底侧（U）上第一孔穴（K`）中的至少一个电路芯片（30）；微机械功能结构、尤其扬声器结构（10），其具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c），所述扬声器结构安置在该上侧（O）第二孔穴（K）中；以及设置在该上侧（O）上在该微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）之上的覆盖装置（20）。
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