[发明专利]一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺

摘要

本发明公开了一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺，尤其是一种多晶硅生产系统中的二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺，属于硅化工技术领域；本发明的二氯二氢硅反歧化工艺采用液态二氯二氢硅和液态四氯化硅混合进料，反应采用的是装载催化剂的固定床反应器，反应条件温和，设备投资低，耗能少，能够对多晶硅生产系统的副产物二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅，降低生产成本和二氯二氢硅的处理费用；本工艺还设计有气液分离单元和精馏原料产品分离系统，能够充分利用生产系统现有工艺设备，提高多晶硅生产系统的原料利用率。

主权项

一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺，其特征在于：包括以下步骤：（1）将气态二氯二氢硅冷凝成液体，再将所得的二氯二氢硅液体和经冷却后的四氯化硅液体按一定比例进行混合；（2）将上述二氯二氢硅和四氯化硅混合液送入固定床反应器中进行催化反应；（3）将反应器反应采出的气液混合物进行气液分离，将气态产品冷凝成液态后，与气液分离采出的液态产品一起送入储罐储存。