[发明专利]一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201210471771.X | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102951591A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 廖广兰;史铁林;盛文军;孙博;张康;汤自荣;夏奇;高阳;谭先华 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00;B81C3/00;G01N33/68 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构及其制造方法，该方法包括：（1）在单晶硅片表面匀胶、光刻得到光刻胶掩膜；（2）基于光刻胶掩膜，使用感应耦合等离子体反应刻蚀技术ICP在单晶硅片上刻蚀出微米级别的凹槽及槽内均匀分布的硅微米柱阵列；（3）在微米柱表面制备纳米线阵列；（4）对凹槽进行封装。按照本发明，可以获得一种用于循环肿瘤细胞检测的微纳复合微流道结构，这种检测结构具有灵敏度高、效率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 捕获 循环 肿瘤 细胞 微流道 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于捕获循环肿瘤细胞的微流道结构，包括单晶硅片层和封盖，单晶硅片层上开有微米级别的凹槽作为流道，其特征在于，所述流道内均匀分布有硅微米柱阵列，各硅微米柱上分布有纳米线阵列。
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