[发明专利]一种压电元件的制造方法有效
申请号: | 201210472450.1 | 申请日: | 2012-11-20 |
公开(公告)号: | CN102969445A | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 梅欣;张俊 | 申请(专利权)人: | 溧阳市生产力促进中心 |
主分类号: | H01L41/45 | 分类号: | H01L41/45 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 查俊奎 |
地址: | 213300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电元件的制造方法,包括如下步骤:准备压电聚合物材料,将该压电聚合物材料在160~190℃条件下加热使其分解;将分解后的压电聚合物材料与粘结剂及挥发性溶剂混合形成浆料;提供绝缘基板,在该绝缘基板表面形成第一电极层;将该浆料涂附于第一电极层表面,形成压电层;以及在该压电层表面形成第二电极层。该压电元件以新颖的压电聚合物材料形成压电层,该压电元件的电致伸缩应变比以聚偏氟乙烯作为压电聚合物的压电元件提高2~5%。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种包括压电聚合物的压电元件的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:准备压电聚合物材料,将该压电聚合物材料在160~190℃条件下加热使其分解;将分解后的压电聚合物材料与粘结剂及挥发性溶剂混合形成浆料;提供绝缘基板,在该绝缘基板表面形成第一电极层;将该浆料涂附于第一电极层表面,形成压电层;以及在该压电层表面形成第二电极层;该压电聚合物为具有化学结构式(I)的材料;其中n和m各为大于1的整数;p为0或大于1的整数;X和Z各为经取代或未经取代的C4-C60芳香族单元或脂肪族单元;Y为经取代或未经取代的C2-C40脂肪族单元;G1、G2、G3和G4各为经取代或未经取代的C1-C12脂肪族基。
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