[发明专利]一种溶液法双极性薄膜晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种溶液法双极性薄膜晶体管及其制备方法，属于柔性电子技术领域。所述晶体管为堆叠结构，包括绝缘衬底、栅电极、栅极绝缘层、n型无机半导体层、源/漏电极、电极修饰材料和P型有机半导体层；所述制备方法包括：首先在绝缘衬底上制备栅电极，其次在栅电极上制备栅极绝缘层，然后在栅极绝缘层上制备n型无机半导体，接着在n型无机半导体上分离地制备源/漏电极，继续在源/漏电极表面修饰电极修饰材料，最后在n型无机半导体和电极修饰材料上制备P型有机半导体层。本发明具有良好的工艺兼容性和冗余度，适用于柔性电子中的互补性逻辑电路。

主权项

一种溶液法双极性薄膜晶体管，其特征是，所述晶体管为堆叠结构，其包括绝缘衬底(11)、栅电极(12)、栅极绝缘层(13)、n型无机半导体层(14)、源/漏电极(15)、电极修饰材料(16)和P型有机半导体层(17)；其中：所述绝缘衬底(11)位于所述晶体管的最底层，所述栅电极(12)位于所述绝缘衬底(11)之上，所述栅极绝缘层(13)覆盖在所述栅电极(12)之上，所述n型无机半导体层(14)覆盖于所述栅极绝缘层(13)之上，所述源/漏电极(15)分离地设于所述n型无机半导体层(14)上，所述电极修饰材料(16)修饰在所述源/漏电极(15)的表面上，所述P型有机半导体层(17)覆盖于所述n型无机半导体层(14)和电极修饰材料(16)之上。