[发明专利]光纤对准器件及其制造方法

摘要

本发明公开了一种光纤对准器件，包括：衬底结构，形成于衬底结构上的沟槽，形成于衬底结构表面并从顶部将沟槽封闭的封闭薄片。沟槽的宽度和深度都根据光纤直径的大小进行设置，各沟槽的长度方向的两侧供光纤插入。本发明还公开了一种光纤对准器件的制造方法。本发明能采用集成电路加工工艺形成，能够实现大规模的量产；本发明的沟槽的宽度和形状能够通过光刻工艺准确定义、沟槽的深度能够通过刻蚀工艺准确控制，能大幅度提高加工精度。

主权项

一种光纤对准器件，其特征在于，包括：一衬底结构，该衬底结构为硅衬底或玻璃衬底；至少一沟槽，形成于所述衬底结构上；一封闭薄片，形成于所述衬底结构表面并从顶部将所述沟槽封闭，各所述沟槽的长度方向的两侧供光纤插入；各所述沟槽的宽度和深度都根据光纤直径的大小进行设置，设置范围为各所述沟槽的宽度和深度为126.3μm～150μm，使光纤插入到所述沟槽中后能和所述沟槽的两个侧面、底面和顶面都相切。