[发明专利]一种用于声表面波滤波器的ZnO压电薄膜无效
申请号: | 201210473605.3 | 申请日: | 2012-11-20 |
公开(公告)号: | CN103023457A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 梅欣;张俊 | 申请(专利权)人: | 溧阳市生产力促进中心 |
主分类号: | H03H9/64 | 分类号: | H03H9/64;H03H9/19 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 查俊奎 |
地址: | 213300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于声表面波滤波器的ZnO压电薄膜,该压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜,其中,Ti的原子百分数为3.5~5.5%,Nb的原子百分数为2.5~6%,Mn的原子百分数为2~4.5%。采用该压电薄膜制成的滤波器机电耦合系数高,插入损耗低,工作效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 表面波 滤波器 zno 压电 薄膜 | ||
【主权项】:
一种用于声表面波滤波器的ZnO压电薄膜,其特征在于,所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜,其中,Ti的原子百分数为3.5~5.5%,Nb的原子百分数为2.5~6.0%,Mn的原子百分数为2.0~4.5%。
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