[发明专利]一种WGM元件制作方法有效
申请号: | 201210473692.2 | 申请日: | 2012-11-20 |
公开(公告)号: | CN103837929A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 吴砺;张猛;贺坤 | 申请(专利权)人: | 福州高意通讯有限公司 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12;G02B6/28;G02F1/01;G02F1/313;H01S3/08 |
代理公司: | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人: | 戴雨君 |
地址: | 350000 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种WGM元件制作方法,所述WGM元件包括:能将光耦合进入或者耦合出回音壁模式谐振腔的耦合器件、能够限制光在内部的微型谐振腔、用于控制耦合距离的薄膜和能够固定微型谐振的夹持装置,采用镀膜的方法精确的对耦合距离进行控制,避免了端面全部镀膜对腔内造成的影响;而且发明中采用的玻璃管夹持方法减小了对腔内模式的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 wgm 元件 制作方法 | ||
【主权项】:
一种WGM元件制作方法, WGM元件包括:将光耦合进入或者耦合出回音壁模式谐振腔的耦合器件、限制光在内部的微型谐振腔、控制耦合距离的薄膜和固定微型谐振腔的夹持装置,其特征在于:所述WGM元件制作方法是基于光学镀膜实现耦合距离控制,所述耦合距离控制包括如下步骤:第一步,在玻璃基底上表面镀上一层薄膜,薄膜的厚度为耦合时所要控制的距离,将整体作为一个模具;第二步,在所述模具薄膜上放置微型谐振腔,玻璃器件夹持所述微型谐振腔紧靠玻璃基底垂直放置,并通过夹持点将所述微型谐振腔与所述玻璃器件固定;第三步,将通过夹持点固定的微型谐振腔和玻璃器件整体取下,紧贴耦合器件放置,再将所述玻璃器件与所述耦合器件的接触端面用黏结剂黏结即可,所述耦合器件与所述微型谐振腔之间的空气隔层为所镀薄膜厚度。
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