[发明专利]一种用于低损耗声表面波滤波器的压电薄膜无效
| 申请号： | 201210474247.8 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN103023447A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 梅欣;张俊 | 申请（专利权）人： | 溧阳市生产力促进中心 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 查俊奎 |
| 地址： | 213300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于低损耗声表面波滤波器的压电薄膜，其是掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为4.0～5.0％；Nb的原子百分数为3.0～5.0％，Mn的原子百分数为3.0～4.0％。采用该压电薄膜制成的声表面波滤波器机电耦合系数高，插入损耗低，工作效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 损耗 表面波 滤波器 压电 薄膜 | ||
【主权项】：
一种用于低损耗声表面波滤波器的压电薄膜，其特征在于，所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为4～5％；Nb的原子百分数为3～5％，Mn的原子百分数为3～4％。
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