[发明专利]一种La0.7Ca0.25Sr0.05MnO3铁磁薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种薄膜材料的制备方法，具体的说是一种La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃铁磁薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：①将硝酸镧加入到冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液中，得溶液A；②将乙酸钙和硝酸锶的混合物加入冰乙酸和乙二醇甲醚混合溶液中，得溶液B；③将乙酸锰加入到溶液B中，得溶液C；④将溶液A与溶液C混合后加入1～10mL乙酸，得La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃溶胶；⑤将基片依次在丙酮和无水乙醇中超声处理；⑥在处理后的基片上滴加La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃溶胶旋转涂敷，得薄膜D；⑦将薄膜D预烧，得薄膜E；⑧将薄膜E放入快速热处理炉中焙烧，随炉冷却至室温，即得La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃铁磁薄膜。本发明解决现有技术制备La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃（LCSMO）薄膜铁磁性能差、纯度低、致密度低及在制备过程中烧结温度高的问题，通过改进工艺的溶胶-凝胶法，制备出膜厚均匀一致且磁卡效应优异的锰氧化物铁磁薄膜。

主权项

一种La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃铁磁薄膜的制备方法，其特征在于：该方法是通过以下步骤实现的：①、依照化学式La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃，按0.7：0.25：0.05：1的摩尔比分别称取硝酸镧、乙酸钙、硝酸锶和乙酸锰；②、将硝酸镧加入到冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液中，其中，冰乙酸和乙二醇甲醚的摩尔比为1：5～10，硝酸镧与冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液的摩尔比为1：6～11，室温下搅拌30～60min，得溶液A；③、将乙酸钙和硝酸锶的混合物加入冰乙酸和乙二醇甲醚混合溶液中，其中，冰乙酸和乙二醇甲醚的摩尔比为1：5～10，乙酸钙和硝酸锶的混合物与冰乙酸和乙二醇甲醚的混合溶液的摩尔比为1：6～11，然后在50～100℃条件下加热回流搅拌30～60min，得溶液B； ④、将乙酸锰加入到溶液B中，在温度为80～120℃条件下加热回流搅拌30～60min，得溶液C；⑤、将溶液A与溶液C混合后加入1～10mL乙酸，调节溶液的pH值为4，然后在室温条件下搅拌20～60min，得La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃溶胶；⑥、将基片依次在丙酮和无水乙醇中超声处理4～6min，然后置于空气中自然干燥；⑦、在经步骤⑥处理后的基片上滴加La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃溶胶，在匀胶速度1000～2000r/min的条件下旋转涂敷15s，再以匀胶速度3500～4500r/min的条件下旋转涂敷30s后在温度为40～80℃条件下烘干，得薄膜D；⑧、将薄膜D在300～500℃条件下预烧，得薄膜E；⑨、将薄膜E放入快速热处理炉中在温度为550～600℃条件下焙烧5～15min，随炉冷却至室温，即得La_0.7Ca_0.25Sr_0.05MnO₃铁磁薄膜；其中重复步骤⑦不同次数可调控薄膜的厚度。