[发明专利]一种六氟化硫的纯化工艺

摘要

本发明公开一种六氟化硫的纯化工艺，采用变压吸附步骤和精馏步骤，能够将六氟化硫纯化为电子级（＞99.999）六氟化硫。

主权项

一种六氟化硫的纯化工艺，其特征在于，包括变压吸附步骤和精馏步骤，其中，所述变压吸附步骤为：粗六氟化硫气体组份及组成：SF6≥95%、水份：1%、N2+O2：3%、其它：1%；粗六氟化硫气体经过加压泵加压到0.1~0.2Mpa；在常温下通过低压1、2、3级硅胶吸附塔除去大量水份，3级硅胶出口粗气水份含量＜200ppm；进入低压1、2级氧化铝吸附塔，2级氧化铝吸附塔出口水份含量＜800ppm；进入低压氟吸附剂吸附塔，吸附塔出口气体组份组成为:SF6＞96%、水份＜30ppm、N2+O2：3%、其它＜1%；进入通过膜压机加压到2.0~3.0Mpa；进入高压1、2级氧化铝吸附塔进一步干燥后；进入两级氟吸附剂吸附塔除去低氟化合物后；进入两级13X吸附塔除去OF2、CO2；经变压吸附过程处理后的六氟化硫气体组成及组份含量为：SF6＞97%、水份＜20ppm、N2+O2＜3%、其它＜500ppm；所述精馏步骤为：经变压吸附步骤处理后的六氟化硫气体进入精馏塔前冷凝器，冷媒为一元醇，在2.0~3.0Mpa,‑40℃~‑20℃条件下成为气液混合物，进入轻分塔；在轻分塔中：塔前冷凝器来的气液物料进入轻分塔除去轻组份，塔压：2.0~3.0Mpa，塔顶温度：‑50℃~‑35℃，塔釜温度：15℃~30℃，塔顶冷凝器冷媒为一元醇，塔釜再沸器热媒为：一元醇的水合物；带有SF6的轻组分由塔顶恒压导出进入回收SF6吸附塔，其组分组成为：SF6＜20%，N2+O2+CF4＞80%，塔釜导出液相物料进入重分塔，其组分组成为：SF6＞99.9%，N2+O2+CF4＜10ppm，C2F6等重组份＜500ppm；在重分塔中：轻分塔釜导出的液相物料进入重分塔除去重组份，塔压0.7Mpa~1.6Mpa，塔顶温度：‑25℃~‑10℃，塔釜温度：‑15℃~‑5℃，塔顶冷凝器冷媒为一元醇，塔釜再沸器热媒为：一元醇的水合物；塔顶导出气体物料进入脱烷塔，其组分组成为：SF6＞99.998%，C2F6＜50ppm，塔釜釜液进入蒸馏塔回收SF6，其组份组成为：SF6＜60%；在脱烷塔中：重分塔顶导出气体物料进入脱烷塔除去C2F6，塔压0.5Mpa~1.0Mpa，塔顶温度：‑30℃~‑15℃，塔釜温度：‑12℃~‑5℃，塔顶冷凝器冷媒为一元醇，塔釜再沸器热媒为：一元醇的水合物；塔顶导出气体返回气袋，其组分组成为：SF6＜99.95%，C2F6＜500ppm；塔釜导出液相液相产品进入膜式计量泵；在膜式计量泵中：脱烷塔釜液相产品通过膜式计量泵，灌装入钢瓶，其组份组成为：SF6＞99.999，其它组份：＜10ppm。