[发明专利]硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法有效

专利信息
申请号: 201210476636.4 申请日: 2012-11-21
公开(公告)号: CN102962903A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: 罗振华 申请(专利权)人: 罗振华
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;C01B33/037;B03D1/02
代理公司: 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 代理人: 王宇杨;王庆海
地址: 200052 上海市长*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法,其包括以下步骤:(1)将硅锭线锯切割工艺的废液沉积以形成废料饼;(2)采用预处理溶液对废料饼进行预处理;(3)应用泡沫浮选法从步骤(2)的溶液中回收硅微粒。本发明的回收方法使硅锭线锯切割过程所产生的硅颗粒从浆砂以及金属和离子污染中被重新分离,并且其可在硅锭重结晶过程中被有效地重新利用,从而大大降低光伏发电或半导体应用的生产成本。
搜索关键词: 硅锭线锯 切割 工艺 颗粒 回收 方法
【主权项】:
一种硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法,其包括以下步骤:(1)将硅锭线锯切割工艺的废液沉积以形成废料饼;(2)采用预处理溶液对废料饼进行预处理,所述预处理溶液的组成为:0.5重量%‑60重量%的氢氟酸、0.5重量%‑95重量%的氟化铵,0.5重量%‑20重量%的盐酸、0.5重量%‑50重量%乙酸和0.5重量%‑3重量%的有机溶剂;(3)应用泡沫浮选法从步骤(2)的溶液中回收硅微粒。
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