[发明专利]测量固体热物性参数的光学系统及方法

摘要

本发明提供了一种测量固体热物性参数的光学系统及方法。该光学系统包括：加热激光产生组件、探测激光产生组件、合束元件、分光元件、加热激光接收组件、样品测试组件和探测激光接收组件。本发明采用信号调制的光热反射法，属于频域方法，和超短脉冲激光抽运探测法等时域方法相比，没有机械运动部件，测量系统相对简单、光路调节更方便。

主权项

一种测量固体热物性参数的光学系统，其特征在于，包括：加热激光产生组件、探测激光产生组件、合束元件、分光元件、加热激光接收组件、样品测试组件和探测激光接收组件；其中，由加热激光产生组件产生频率调制的连续偏振的加热激光，由探测激光产生组件产生连续偏振的探测激光；该加热激光和探测激光经过合束元件后合束为位于A平面的合束激光；该合束激光入射分光元件，偏振方向在A平面的成分透射至样品测试组件，偏振方向垂直于该水平面的成分反射至加热激光接收组件；偏振方向在A平面的合束光成分经由样品测试组件后，照射至被测试样品表面；偏振方向在A平面的合束光成分中的加热激光将被测样品加热，加热后的被测样品对探测激光产生调制作用；由被测试样品表面反射的加热激光及调制后的探测激光的合束激光重新经由样品测试组件后由分光元件反射至探测激光接收组件；探测激光接收组件将入射合束激光中的加热激光成分滤除后，得到探测激光的信号；加热激光接收组件将入射合束激光中的探测激光成分滤除后，得到加热激光的信号。