[发明专利]制造CIGS薄膜太阳能电池的吸收层的反应装置及方法

摘要

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及制造CIGS薄膜太阳能电池吸收层的反应装置及方法。该反应装置包括，一可提供柔性衬底并具有一可密闭的供应腔室的供应室；一具有贯设其中且可密闭的反应通道的反应室；一具有一可密闭的收料腔室的收料室；一控制系统，包括多个可控制气体进入个腔室的阀门以及可检测个腔室内气体状态的检测组件；各腔室连通构造成一个密闭空间，所述反应通道密闭连接有一可动态调节所述反应通道内气体状态的气体平衡器。如此，通过该气体平衡器可动态调节反应通道内的气体状态，使其始终处于反应所需的气体状态，确保了吸收层沉积于所述预置层上的均匀性，提高生产良率。

主权项

制造CIGS薄膜太阳能电池吸收层的反应装置，其特征在于，包括一供应室，用于提供制造CIGS薄膜太阳能电池的柔性衬底，所述柔性衬底上沉积有预置层，该供应室具有一可密闭的供应腔室；一反应室，通过硒化反应在所述柔性衬底上制成CIGS半导体吸收层，具有一横向贯设于其内且可密闭的反应通道，所述反应通道沿所述柔性衬底进入方向分为预热区、反应区和冷却区；一收料室，用于收纳沉积有吸收层的柔性衬底，具有一可密闭的收料腔室；以及一控制系统，包括设置于与所述供应室、反应室和收料室相连的气体管路上并可控制气体进出的多个阀门以及可检测所述供应室、反应室和收料室内气体状态的检测组件；所述供应腔室的出口端连接于所述反应通道的入口端，所述收料腔室的入口端连接于所述反应通道的出口端，所述供应腔室、所述反应通道和所述收料腔室依次连通构造成一个密闭空间；所述反应区密闭连接有一可动态调节所述反应区内气体状态的气体平衡器。