[发明专利]传感器芯片、传感器盒及分析装置有效
申请号: | 201210480083.X | 申请日: | 2010-11-18 |
公开(公告)号: | CN103018211A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 尼子淳;山田耕平 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01N21/55 | 分类号: | G01N21/55;G01N21/65 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种传感器芯片、传感器盒以及分析装置。该传感器芯片包括:基体部件,具有平面部;以及衍射光栅,具有由金属形成的表面,形成在所述平面部上,且目标物质配置在所述衍射光栅上,所述衍射光栅包括:多个第一突起,沿与所述平面部平行的第一方向,按大于等于100nm小于等于1000nm的周期周期性地排列;多个基底部分,位于相邻的两个所述第一突起之间,构成所述基体部件的底部;以及多个第二突起,形成在多个所述第一突起的上表面。 | ||
搜索关键词: | 传感器 芯片 分析 装置 | ||
【主权项】:
一种传感器芯片,其特征在于,包括:基体部件,具有平面部;以及衍射光栅,具有由金属形成的表面,形成在所述平面部上,且目标物质配置在所述衍射光栅上,所述衍射光栅包括:多个第一突起,沿与所述平面部平行的第一方向,按大于等于100nm小于等于1000nm的周期周期性地排列;多个基底部分,位于相邻的两个所述第一突起之间,构成所述基体部件的底部;以及多个第二突起,形成在多个所述第一突起的上表面。
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