[发明专利]改良的光成像在审
| 申请号： | 201210482577.1 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103838078A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 乔纳森·肯尼特;约翰·坎宁安 | 申请（专利权）人： | 彩虹科技系统有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本文中描述一种用于进行光成像的方法和装置。具体来说，描述一种用于对经湿的可固化光聚合物覆盖的衬底进行光成像的方法和装置，其中所述经光成像衬底是用于形成图像，如光化学加工业(Photochemical Machining Industry，PCMI)中所用的电路或其它特征，例如线、正方形、螺旋形、圆形或其它几何和非几何形状。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 成像 | ||
【主权项】：
一种用于对衬底进行光成像的方法，所述方法包含：提供具有覆盖层的衬底；在所述覆盖层的至少一部分上沉积液态光聚合物，以形成厚度小于约178μm(0.007英寸)的光聚合物膜；将光工具定位到所述液态光聚合物上；以及向所述液态光聚合物施加辐射以便在透过所述光工具曝光的区域中固化所述光聚合物。
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