[发明专利]磁性悬浮式真空泵及磁性悬浮装置有效
| 申请号： | 201210482726.4 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103161740A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎;长野善宏;大藤正干 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;H02N15/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁性悬浮式真空泵及磁性悬浮装置，可抑制对磁性悬浮控制的影响、并且可使载波电流成分增大。磁性悬浮式真空泵包括：电磁铁，利用磁力使转子磁性悬浮；电磁铁驱动电路，将包含磁性悬浮控制电流成分及比该磁性悬浮控制电流成分更高频带的载波电流成分的电磁铁电流供给至电磁铁线圈；悬浮位置检测电路，检测载波电流成分并生成转子的悬浮位置信号；以及磁性悬浮控制电路，基于悬浮位置信号将磁性悬浮控制电流成分的电流指令输入至电磁铁驱动电路；电磁铁线圈(510)包含主卷线(510a)与并联连接于主卷线(510a)的副卷线(510b)；且还包含阻断电路(511)，串联连接于副卷线(510b)，使载波电流成分通过并且阻断磁性悬浮控制电流成分。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 悬浮 真空泵 装置 | ||
【主权项】：
一种磁性悬浮式真空泵，其特征在于包括：转子，形成有排气功能部；电动机，旋转驱动所述转子；电磁铁，将电磁铁线圈卷绕在铁芯上，利用磁力使所述转子磁性悬浮；电磁铁驱动电路，将电磁铁电流供给至所述电磁铁线圈，所述电磁铁电流包含：磁性悬浮控制电流成分，用于使所述转子磁性悬浮；以及载波电流成分，比所述磁性悬浮控制电流成分更高频带且用于检测所述转子的悬浮位置；悬浮位置检测电路，检测所述载波电流成分并生成所述转子的悬浮位置信号；以及磁性悬浮控制电路，基于所述悬浮位置信号而将所述磁性悬浮控制电流成分的电流指令输入至所述电磁铁驱动电路；其中，所述电磁铁线圈包含主线圈、与并联连接于该主线圈的副线圈；所述磁性悬浮式真空泵还包括：阻断电路，所述阻断电路串联连接于所述副线圈，使所述载波电流成分通过并且阻断所述磁性悬浮控制电流成分。
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