[发明专利]片盒升降装置及具有其的片盒传输系统有效
申请号: | 201210483285.X | 申请日: | 2012-11-23 |
公开(公告)号: | CN103839860B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 魏晓 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 黄德海,贾玉姣 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种片盒升降装置,包括壳体,所述壳体内具有承载腔室;片盒托盘,所述片盒托盘设在所述承载腔室内用于承载片盒;驱动器,所述驱动器用于驱动所述片盒托盘在所述承载腔室内沿着竖直方向可升降;和至少四个检测传感器,所述检测传感器分别设置在所述片盒托盘上并与所述片盒的所需摆放位置相对应,用于检测所述片盒是否放置在所述所需摆放位置。根据本发明实施例的片盒升降装置,可避免片盒未放置在所述所需摆放位置上而被挤碎的风险。本发明还公开了一种具有上述片盒升降装置的片盒传输系统。 | ||
搜索关键词: | 升降 装置 具有 传输 系统 | ||
【主权项】:
一种片盒升降装置,其特征在于,包括:壳体,所述壳体内具有承载腔室;片盒托盘,所述片盒托盘设在所述承载腔室内用于承载片盒;驱动器,所述驱动器用于驱动所述片盒托盘在所述承载腔室内沿着竖直方向可升降;和四个检测传感器,所述检测传感器分别设置在所述片盒托盘上并与所述片盒的所需摆放位置相对应,用于检测所述片盒是否放置在所述所需摆放位置,所述所需摆放位置形成为方形且所述所需摆放位置的每条边位于所述片盒托盘的外周壁的内侧,四个所述检测传感器分别设在所述片盒的所述所需摆放位置的相邻边的拐角处或者四个所述检测传感器分别设在所述片盒的所述所需摆放位置的四条边上的中心位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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