[发明专利]一种电子辐照下介质材料表面电荷密度的测试方法无效
| 申请号： | 201210484898.5 | 申请日： | 2012-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102937673A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 汤道坦;李得天;李存惠;秦晓刚;柳青;杨生胜 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;李爱英 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子辐照下介质材料表面电荷密度的测试方法，属于测试领域。所述方法步骤包括静电电容探头的标度，将介质样品材料放置在支撑架上表面，开启抽真空系统抽真空，开启电子枪模拟静止地球轨道（GEO）电子环境，对介质样品材料进行辐照；利用三维传动机构对介质样品材料表面进行扫描测量，通过高阻计和静电电容探头得到介质样品材料表面的电位分布；结合静电电容原理，利用静电电容探头测量电压与介质样品材料表面电荷之间的关系式，计算出介质样品材料的表面电荷分布。所述方法能够拟合得出静电电容的灵敏度和施加电压的线性关系，消除了电子辐照效应，使其适应与电子辐照环境下的测试工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 辐照 介质 材料 表面 电荷 密度 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种介质材料表面电荷密度的测试系统，其特征在于：所述系统包括电子枪（1）、三维传动机构（2）、真空屏蔽过壁（3）、高阻计（4）、静电电容探头（5）、真空室（7）、抽真空系统（8）；其中，在真空室（7）内部，电子枪（1）安装在真空室（7）顶部；在真空室（7）底部设有支撑架，在支撑架上放置介质样品材料（6）；在真空室（7）侧壁安装有真空屏蔽过壁（3），三维传动机构（2）一端与静电电容探头（5）连接，另一端安装在真空屏蔽过壁（3）中，实现静电电容探头（5）在介质样品材料（6）表面的移动；屏蔽信号线（10）一端与静电电容探头（5）连接，另一端通过真空屏蔽过壁（3）与真空室（7）外的高阻计（4）连接。
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