[发明专利]低损耗波导型光分路器无效
申请号: | 201210486858.4 | 申请日: | 2012-11-26 |
公开(公告)号: | CN103837930A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 陈谷红 | 申请(专利权)人: | 宜兴新崛起光集成芯片科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/125 | 分类号: | G02B6/125 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214213 江苏省宜兴市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及集成光学技术领域。它提出了一种低损耗波导型光分路器,由采用硅基沉积二氧化硅光波导的加工技术和工艺制成。在设计上采用正弦弯曲波导作为分叉波导,通过在波导器件与光纤耦合端口,波导分叉点嵌入锥形波导,在波导分叉区引入阶梯光栅,可最大限度地减小分支型分路器的插入损耗,提高功率分配的均匀性。其带光栅的Y型光分路结构,可以灵活地组成不同分路比的光分路器,提高了光信号的传送效率。该光器件不但结构灵活、紧凑,集成度高,体积小,重量轻,性能稳定可靠,而且适合大批量生产,生产效率高、成本低,可广泛地应用于光通信系统、光学仪器设备和光纤到户(FTTH)等应用场合。 | ||
搜索关键词: | 损耗 波导 分路 | ||
【主权项】:
一种低损耗波导型光分路器,由硅基晶圆,衬垫,波导光芯以及覆盖包层构成,其特征在于:硅基晶圆上,沉积折射率及厚度不同的二氧化硅衬垫,波导光芯和覆盖包层,构成平面光波导器件;在分路器光路设计上,采用正弦弯曲波导作为分叉波导,通过在波导器件与光纤耦合端口,波导分叉点嵌入锥形波导,在波导分叉区引入阶梯光栅,可最大限度地减小分支型分路器的插入损耗,提高功率分配的均匀性。以带阶梯光栅结构的Y型光分路器为基本单元,构成多级低损耗波导型光分路器。
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