[发明专利]一种电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线

摘要

本发明公开了一种电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线，包括真空镀膜腔体和多个腔体支架，所述的真空镀膜腔体安装在多个腔体支架上，内部设有内传送系统，真空镀膜腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；每段均设有抽气系统。本发明真空腔体之间采用插板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体；传送系统采用磁导向，平稳性好；本发明实现了电容式触摸屏连续批量生产，生产效率高。

主权项

一种电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线，其特征是：包括真空镀膜腔体和多个腔体支架，所述的真空镀膜腔体安装在多个腔体支架上，内部设有内传送系统，真空镀膜腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；所述的进口真空段，进口处设有翻板阀，一侧设有腔体维修门，附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与进口真空段的底部连接；所述的进口缓冲真空段与进口真空段连接处设有插板阀，进口缓冲真空段一侧设有六位三装分子泵高真空抽气系统，进口缓冲真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与前级抽气连接管道和六位三装分子泵高真空抽气系统连接；进口缓冲真空段附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与前级抽气连接管道连接；所述的进口过渡真空段与进口缓冲真空段连接处设有插板阀，进口过渡真空段的一侧安装有六位二装分子泵高真空抽气系统，进口过渡真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与六位二装分子泵高真空抽气系统和抽气连接管道连接；所述的工艺镀膜真空段包括多个工艺真空模块及至少一个工艺隔离真空模块，每个工艺真空模块的一侧均安装有三位二装分子泵门和双阴极门，底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与三位二装分子泵门和抽气连接管道连接；工艺镀膜真空段附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统；前级抽气系统通过抽气管道与抽气连接管道连通；所述的分子泵抽气连接耦合器上设有三位三装分子泵门；所述真空隔离模块的一侧安装有六位五装分子泵门；所述的出口过渡真空段与工艺镀膜真空段连接处设有插板阀，出口过渡真空段一侧设有六位二装分子泵高真空抽气系统，出口过渡真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与六位二装分子泵高真空抽气系统和抽气连接管道连接；所述的出口缓冲真空段与出口过渡真空段连接处设有插板阀，出口缓冲真空段的一侧设有六位三装分子泵高真空抽气系统，出口缓冲真空段的底部通过分子泵抽气连接耦合器分别与六位三装分子泵高真空抽气系统和前级抽气连接管道连接；出口缓冲真空段附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与前级抽气连接管道连通；所述的出口真空段与出口缓冲真空段连接处设有插板阀，出口真空段出口处设有翻板阀，一侧设有腔体维修门，附近设有由机械泵与罗兹泵组成的前级抽气系统，前级抽气系统通过抽气管道与出口真空段的底部连接。