[发明专利]一种钨管的制造方法有效
| 申请号： | 201210489047.X | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102978583A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 陈志刚;冯振雷;颜彬游;庄志刚;孙小宝;杨金洪;钱文连;陈财华 | 申请（专利权）人： | 厦门钨业股份有限公司;厦门嘉鹭金属工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/14 | 分类号： | C23C16/14 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361026*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种钨管的制造方法，涉及一种钨管。提供一种可获得壁厚均匀的钨管的制造方法。包括以下步骤：1）将基材固定在沉积设备上，对基材直接通电加热，通入反应气体进行反应，反应开始后，提高电流，至反应结束；2）反应结束后系统内改通保护气体，降温至室温；3）将基材除去，即得钨管，所得钨管是一种壁厚均匀的纯钨管。克服了采用化学气相沉积制取纯钨管过程中，由于受原料气体流量无法精确控制、温度不均匀、反应气体浓度变化等原因导致钨管壁厚不均匀的现象，所制备的钨管壁厚均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钨管的制造方法，其特征在于包括以下步骤：1）将基材固定在沉积设备上，对基材直接通电加热，通入反应气体进行反应，反应开始后，提高电流，至反应结束；2）反应结束后系统内改通保护气体，降温至室温；3）将基材除去，即得钨管，所得钨管是一种壁厚均匀的纯钨管。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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