[发明专利]平面光波导与光纤耦合方法和结构无效
| 申请号： | 201210489584.4 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN102998751A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 孙麦可;宋齐望 | 申请（专利权）人： | 孙麦可;宋齐望 |
| 主分类号： | G02B6/36 | 分类号： | G02B6/36 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平面光波导与光纤对准耦合的方法和结构，将平面光波导和平面光波导与光纤耦合的结构集成在同一芯片基底上，在芯片基底上通过芯片加工工艺在一部分基底平面区域内制造出光波导结构，而在基底的另一部分区域内制成平面光波导耦合光纤的光纤槽结构，通过芯片工艺的结构控制使光纤放置于光纤槽内时光纤的纤芯正好对准光波导，实现光波导与光纤的耦合，在耦合结构中每相邻两光纤槽中心的距离大于光纤的直径。该方案将平面光波导结构和光波导与光纤的耦合结构集成在同一芯片上，不仅规避了传统的分离光纤阵列器件的使用，而且也免除了光纤阵列器件和光波导芯片的对准胶接，具有节约人工与设备成本，增加产品可靠性的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 波导 光纤 耦合 方法 结构 | ||
【主权项】：
一种平面光波导与光纤耦合方法，其特征在于，将平面光波导和光波导与光纤的耦合结构集成在同一芯片基底上，即在芯片基底上通过芯片加工工艺在一部分基底平面区域内制造出平面光波导结构，而在另一部分区域内制成耦合光纤的光纤槽结构，通过芯片工艺的结构控制使光纤放置于光纤槽内时，光纤芯正好对准光波导，实现光波导与光纤的耦合，在耦合结构中每相邻两光纤槽中心的距离大于光纤的直径。
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