[发明专利]单晶硅无醇制绒添加剂无效
| 申请号： | 201210489812.8 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN102943307A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 沈专;林佳继;赵同荣 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅无醇制绒添加剂，由碱性腐蚀液、非离子表面活性剂、阳离子表面活性剂、无水葡萄糖以及有机盐组成；其中非离子表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.01～5%，阳离子表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.01～0.3%，无水葡萄糖的量相当于碱性腐蚀液质量的0.05～5.5%，有机盐的量相当于碱性腐蚀液质量的0.5～8%。本发明产品使单晶硅片绒面“金字塔”尺寸小，约1～3微米，且增强去污效果，去花篮印，去手指印，能快速有效形成绒面，且与现有生产设备匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 无醇制绒 添加剂 | ||
【主权项】：
一种单晶硅无醇制绒添加剂，其特征是：由碱性腐蚀液、非离子表面活性剂、阳离子表面活性剂、无水葡萄糖以及有机盐组成；其中非离子表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.01～5%，阳离子表面活性剂的量相当于碱性腐蚀液质量的0.01～0.3%，无水葡萄糖的量相当于碱性腐蚀液质量的0.05～5.5%，有机盐的量相当于碱性腐蚀液质量的0.5～8%。
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