[发明专利]磁悬浮式定位平台无效
申请号: | 201210494634.8 | 申请日: | 2012-12-20 |
公开(公告)号: | CN102951607A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 马树元;谢虎;王伟明;闪明才;黄杰;宋谦 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种磁悬浮式定位平台结构,它包括磁悬浮式平台基座,两组上定子绕组,两组下定子绕组线圈,运动平台,四块永磁阵列,三个柔性支撑,工作平台,永磁涡流阻尼器。两块永磁阵列安装在移动平台的下方,对称布置,与两组下定子绕组线圈作用,构成一组斥力型直线电机。另外两块永磁阵列安装在移动平台的上方,对称布置,位置同下方的两块永磁阵列错开九十度,与两组上定子绕组线圈作用,构成一组吸力型直线电机,两组电机同时作用实现平台的六自由度的运动。与直线电机直接作用的移动平台通过三个柔性支撑同工作平台连接。永磁涡流阻尼器安装在移动平台下方。本发明主要适用于大行程的纳米加工、定位、测量以及组装等微纳米制造领域。 | ||
搜索关键词: | 磁悬浮 定位 平台 | ||
【主权项】:
磁悬浮式定位平台,其特征在于工作平台和移动平台构成夹层结构。目的在于减小磁悬浮式定位平台空间体积,实现平台小型化。
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