[发明专利]一种钨硅合金靶材的制备方法无效
| 申请号： | 201210495701.8 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103056368A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 白锋;于洋;赖亚洲;彭福生;庄志刚;宋久鹏;石涛;刘盈霞 | 申请（专利权）人： | 厦门虹鹭钨钼工业有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠 |
| 地址： | 361021 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钨硅合金靶材的制备方法。本发明包括如下步骤：（1）将钨粉、硅粉和成形剂充分混合，得到钨硅合金粉末；（2）将步骤（1）所得钨硅合金粉末冷压得预成形坯；（3）将步骤（2）所得预成形坯进行真空热压成形，冷却后得烧结毛坯；（4）将步骤（3）的烧结毛坯切割后即得钨硅合金靶材。本发明能耗小，成本低，成品率高，有效降低了钨硅合金靶材的成本；生产无污染、不产生任何废料、废酸等污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钨硅合金靶材的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）将钨粉、硅粉和成形剂充分混合，得到钨硅合金粉末；（2）将步骤（1）所得钨硅合金粉末冷压得预成形坯；（3）将步骤（2）所得预成形坯进行真空热压成形，冷却后得烧结毛坯；（4）将步骤（3）的烧结毛坯切割后即得钨硅合金靶材。
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