[发明专利]一种电感结构有效
| 申请号： | 201210496838.5 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102956622B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 李琛;皮常明;田鑫 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/06 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 | 代理人： | 吴世华,林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电感结构，包括片上电感以及位于所述片上电感下方的屏蔽层，所述屏蔽层包括至少一个屏蔽单元，所述屏蔽单元与所述片上电感所产生的涡电流方向正交，所述屏蔽单元由MOM电容结构组成，所述MOM电容结构包括一组相互平行且具有一定间隔的直角形第一金属条；以及一组相互平行且具有一定间隔的直角形第二金属条，该组第一金属条与该组第二金属条位于同层金属层且形成插指结构，所述第一金属条接电源，所述第二金属条接地。本发明充分利用片上电感下方的面积以实现稳压MOS电容的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 结构 | ||
【主权项】：
一种电感结构，包括片上电感以及位于所述片上电感下方的屏蔽层，所述屏蔽层包括至少一个屏蔽单元，所述屏蔽单元与所述片上电感所产生的涡电流方向正交，其特征在于，所述屏蔽单元由MOM电容结构组成，所述MOM电容结构包括：一组相互平行且具有一定间隔的直角形第一金属条，该组第一金属条的一端封闭相连；一组相互平行且具有一定间隔的直角形第二金属条，该组第二金属条的一端封闭相连，该组第一金属条与该组第二金属条位于同层金属层且形成插指结构，所述第一金属条接电源，所述第二金属条接地，所述第一金属条和所述第二金属条之间具有介电质。
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