[发明专利]杯芳烃化合物和包含该杯芳烃化合物的抗蚀剂组合物

摘要

一种分子玻璃化合物，其包括式(I)的芳族化合物与(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚反应产物，C6R1x(OR2)y    (I)其中，R1为，H、F、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，R2为H、C1-20烷基、C1-20卤烷基，x为6-y且y为2或3，至少一个OR2基团为羟基，以及至少两个OR2基团是彼此处于间位的；Ar1-CHO    (II)其中，Ar1是取代的、卤取代的或非取代的C4-20杂环含芳族基团的基团，或取代的、卤取代的或非取代的C8-20稠合多环芳族部分；以及，酸可除去保护基团，作为与芳族化合物的羟基、所述多环或稠合多环芳香醛的羟基、或包括以上至少之一的组合的加合物。本发明还公开了包含所述分子玻璃化合物的光致抗蚀剂，本发明还公开了涂覆的基材，该涂覆基材包括(a)在其表面上具有待形成图案的一个层或多个层的基材，和(b)在待形成图案的一个层或多个层上的光致抗蚀剂组合物层。

主权项

一种分子玻璃化合物，其包含：A)式(I)的芳族化合物与式(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚反应产物：C6R1x(OR2)y    (I)其中R1为H、F、C1‑20烷基、C1‑20卤烷基、C6‑20芳基、C6‑20卤芳基、C7‑20芳烷基、或C7‑20卤代芳烷基，R2为H、C1‑20烷基、C1‑20卤烷基，x为6‑y且y为2或3，至少一个OR2基团为羟基，并且至少两个OR2基团是彼此处于间位的；Ar1‑CHO    (II)其中，Ar1是取代的、卤取代的或非取代的C4‑20杂环含芳族基团的基团，或取代的、卤取代的或非取代的C8‑20稠合多环芳族部分，和B)酸可除去保护基团，其作为与芳族化合物的羟基的加合物、与所述多环或稠合多环芳香醛的羟基的加合物、或与包括以上至少之一的组合的加合物。