[发明专利]杯芳烃和包含杯芳烃的光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201210496911.9 | 申请日： | 2012-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103044256A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | V·简恩;J·W·撒克里;S·J·康;D·P·格林;B·C·贝利 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司 |
| 主分类号： | C07C69/76 | 分类号： | C07C69/76;C07C67/29;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 江磊 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 分子玻璃化合物包括式C(R1)2＝C(R2)-O-(L)n-Ar1的芳族乙烯基醚与杯[4]芳烃的乙烯基醚加合物，其中R1和R2各自独立地为单键、H、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，L为C1-20连接基团，n为0或1，Ar1是含卤单环、或取代的或非取代的多环或稠合多环C6-20含芳族基团的基团，其中，当R1和R2任一个或两者为单键且n为0时，R1和R2连接到Ar1。还公开了包含所述分子玻璃化合物、溶剂、以及光致酸产生剂的光致抗蚀剂，包括(a)在其表面上具有待图案化的一个层或多个层的基材，和(b)在待图案化的一个层或多个层上的光致抗蚀剂组合物层的涂覆基材。本发明还公开了形成所述分子玻璃化合物的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 芳烃 包含 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
一种分子玻璃化合物，其包含式C(R1)2＝C(R2)‑O‑(L)n‑Ar1的芳族乙烯基醚与杯[4]芳烃的乙烯基醚加合物，其中R1和R2各自独立地为单键、H、C1‑20烷基、C1‑20卤烷基、C6‑20芳基、C6‑20卤芳基、C7‑20芳烷基、或C7‑20卤代芳烷基，L为C1‑20连接基团，n为0或1，Ar1是含卤单环、或取代的或非取代的多环或稠合多环C6‑20含芳族基团的基团，其中，当R1和R2任一个或两者为单键且n为0时，R1和R2连接到Ar1。
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