[发明专利]射频信号相位可调节的射频电源有效
| 申请号： | 201210497318.6 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103855910A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;李英杰;夏洋;王文东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H02M1/00 | 分类号： | H02M1/00;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频信号相位可调节的射频电源，所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器；所述射频信号发生器包括相位调节电路，所述相位调节电路用于调节外输入射频信号的相位。由于本发明在射频信号发生器内嵌入有相位调节电路，因此能够调节同步接入的射频信号的相位，消除本射频电源与提供射频信号的射频电源之间的信号相位差，避免串扰，提高工艺稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 信号 相位 调节 电源 | ||
【主权项】：
射频信号相位可调节的射频电源，所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器，其特征在于：所述射频信号发生器包括相位调节电路，所述相位调节电路用于调节外输入射频信号的相位。
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H02 发电、变电或配电
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H02M1-00 变换装置的零部件
H02M1-02 .专用于在静态变换器内的放电管产生栅极控制电压或引燃极控制电压的电路
H02M1-06 .非导电气体放电管或等效的半导体器件的专用电路，例如闸流管、晶闸管的专用电路
H02M1-08 .为静态变换器中的半导体器件产生控制电压的专用电路
H02M1-10 .具有能任意地用不同种类的电流向负载供电的变换装置的设备，例如用交流或直流
H02M1-12 .减少交流输入或输出谐波成分的装置
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