[发明专利]低漏电流的Bi0.92Tb0.08Fe1‐xCrxO3 薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201210497445.6 申请日: 2012-11-28
公开(公告)号: CN102976764A 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 谈国强;董国华 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: C04B35/624 分类号: C04B35/624;C04B35/40
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 蔡和平
地址: 710021 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供了一种低漏电流的Bi0.92Tb0.08Fe1-xCrxO3薄膜的制备方法,将硝酸铋、硝酸铁、硝酸铽和硝酸铬按摩尔比0.97∶1-x∶0.08∶x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中,形成混合溶液,向混合溶液中加入乙醇胺调节粘度及络合程度,得到稳定的BiFeO3前驱液;采用旋涂法和逐层退火的工艺得到Tb和Cr共掺晶态的BiFeO3薄膜。在150kV/cm的测试电场下漏电流密度仍保持在10-4A/cm2以下的晶态的Bi0.92Tb0.08Fe0.99Cr0.01O3薄膜。本发明设备要求简单,实验条件容易达到,制备的薄膜均匀性较好,并且通过Tb和Cr共掺杂降低薄膜的漏电流。
搜索关键词: 漏电 bi sub 0.92 tb 0.08 fe cr 薄膜 制备 方法
【主权项】:
一种低漏电流的Bi0.92Tb0.08Fe1‑xCrxO3薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O、Tb(NO3)3·6H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩尔比0.97∶1‑x∶0.08∶x溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中,形成混合溶液,向混合溶液中加入乙醇胺调节粘度及络合程度,得到稳定的BiFeO3前驱液,其中BiFeO3前驱液中的金属离子浓度为0.3mol/L,x=0.01~0.03,乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的体积比为3.5∶1∶0.2;步骤2:采用旋涂法和逐层退火的工艺得到Tb和Cr共掺晶态的低漏电流的Bi0.92Tb0.08Fe1‑xCrxO3薄膜。
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