[发明专利]一种提高分散性的碳化硅微粉的制备方法

摘要

本发明是一种提高分散性的碳化硅微粉的制备方法，将碳化硅微粉加入搅拌罐内，加纯水搅拌成浆料，加入煤油作浮选剂，手工除碳；沉降排水，控制料浆浓度在50%～55%后，加热至80±5℃；加入氢氧化钠片剂，搅拌保温，水洗；沉降排水，加热至80±5℃，加入浓硫酸进行酸洗，搅拌保温；水洗后加入溢流罐内，加入聚甲基丙烯酸铵作分散剂，搅拌，在碳化硅微粉颗粒表面形成油膜；然后对碳化硅浆料进行水力分级，分级后的碳化硅浆料进行脱水、烘干、筛松，即得碳化硅微粉。本发明方法艺设计合理，可操作性强，安全性好，能有效去除杂质，制得的产品可以有效地增加硅晶片线切割加工的关键性磨削材料SiC微粉在切割液中的分散性。

主权项

一种提高分散性的碳化硅微粉的制备方法，其特征在于， 其步骤如下：（1）将碳化硅微粉加入搅拌罐内，搅拌罐底部安有气翻装置；加纯水搅拌成碳化硅浆料，料浆质量浓度控制在25%~30%，加入适量的煤油作浮选剂，打开气翻装置加温搅拌，温度加至40±5℃，手工除碳，将碳化硅浆料中的游离碳质量含量控制在0.15%以内；（2）沉降排水，控制料浆浓度在50%~55%后，将水温加热至80±5℃；按料浆质量的4~6%缓慢加入含量在98%以上的氢氧化钠片剂，搅拌保温5~6个小时；然后对碳化硅浆料进行水洗，直至碳化硅浆料的pH值在7.5~8.5，电导率在100以下水洗结束；（3）沉降排水，控制料浆浓度在50%~55%后，将水温加热至80±5℃；按料浆质量的7~9%加入含量在97%以上的工业用浓硫酸溶液，进行酸洗，搅拌保温5~6小时；然后对碳化硅浆料进行6~7遍水洗，直至碳化硅浆料的pH值在6.5~7.5，电导率在100以下水洗结束;（4）将上述碳化硅浆料加入溢流罐内，溢流罐底部安有气翻装置；料浆浓度控制在25%~30%；加入物料质量的0.04%~0.1%的聚甲基丙烯酸铵作分散剂，打开气翻装置搅拌，至碳化硅微粉颗粒表面形成油膜；然后对碳化硅浆料进行水力分级，分级后的碳化硅浆料进行脱水、烘干、筛松，即得碳化硅微粉。