[发明专利]一种掺铝氧化锌透明导电薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的方法，采用低沸点溶剂和稳定剂与易水解原料配制旋涂液，旋涂于亲水基片上，经老化、热处理和气氛退火步骤，得到AZO透明导电薄膜。本发明的方法原料易得、操作简便、成本低、环境友好，且适用于柔性衬底。本发明还涉及由此制得的AZO透明导电薄膜，其致密性佳、电阻率较小、掺杂率和膜厚度可调，性能优异，在光电领域具有良好应用的前景。

主权项

一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的方法，包括以下步骤： S101配制旋涂液：将二水合醋酸锌和铝盐溶于低沸点溶剂中，添加低沸点稳定剂和超纯水，得到旋涂液，其中二水合醋酸锌浓度为0.05‑0.3mol/L，铝盐的量为二水合醋酸锌摩尔量的1‑5％，低沸点溶剂与水的体积比为1‑5∶1，低沸点稳定剂与水的体积比为0.05‑0.2∶1； S102旋涂镀膜：将旋涂液旋涂于经亲水处理的基片上，得到薄膜前驱物； S103老化：使薄膜前驱物在相对湿度60‑80％的室温环境中静置老化10‑48小时，得到经老化的薄膜前驱物； S104热处理：将经老化的薄膜前驱物在120‑200℃热处理10‑60分钟，得到氧化物薄膜； S105气氛退火：将氧化物薄膜于惰性气氛中，在150‑600℃退火10‑60分钟，使氧化物薄膜原位晶化，得到掺铝氧化锌透明导电薄膜。