[发明专利]圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 201210506574.7 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102980566A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;许仲兴;成宇翔;关冉;张弓;唐健;陈文元 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/5691 | 分类号： | G01C19/5691;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆锥环谐振子；设在金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜，该压电薄膜含有驱动电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的平衡电极；四个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的监测电极；金属圆锥环谐振子与八个电极形成八个以空气作为介电质的电容。本发明利用圆锥环的四波腹振动模态进行工作，对驱动电极施加交流电压，由逆压电效应产生振动，带动圆锥环谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时，圆锥环谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极与金属圆锥环谐振子形成的电容间隙的变化，处理得到输入角速度信号。 | ||
| 搜索关键词： | 圆锥 环形 波动 微机 陀螺 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种圆锥环形波动微机械陀螺，其特征在于包括：一个基底；一个设置在所述基底上的金属圆锥环谐振子；一层设在所述金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜，该压电薄膜含有驱动电极；两个均布于所述金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极；两个均布于所述金属圆锥环谐振子圆锥环周围的平衡电极；以及四个均布于所述金属圆锥环谐振子圆锥环周围的监测电极；其中：两个所述检测电极、两个所述平衡电极间隔设置在四个所述监测电极之间，这八个电极与所述金属圆锥环谐振子形成了八个电容，八个电极与所述金属圆锥环谐振子分别作为电容极板，空气充当介电质。
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