[发明专利]蚀刻液、该蚀刻液的制造方法和使用该蚀刻液的蚀刻方法无效
| 申请号： | 201210506721.0 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103132078A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 河野良;加藤胜 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 蒋雅洁;孟桂超 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种解决玻璃侵蚀性、面内不均一性、残渣、较长处理时间等问题，对含有Ti或Ti合金层的金属层压膜进行一并蚀刻的蚀刻液。本发明涉及一种用于对至少一层Ti或Ti合金层与至少一层其他金属层构成的金属层压膜进行一并蚀刻的蚀刻液，所述蚀刻液含有含氟酸或生成该含氟酸的氟化物，以及氟可配位的离子。本发明还涉及该蚀刻液的制造方法，以及使用该蚀刻液的蚀刻方法。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 制造 方法 使用 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，用于对至少一层Ti或Ti合金层或至少一层其他金属层构成的金属层压膜进行一并蚀刻，所述蚀刻液含有含氟酸或生成该含氟酸的氟化物，以及氟可配位的离子。
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