[发明专利]一种颜色可调的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法

摘要

本发明公开了一种颜色可调的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该颜色可调节的太阳能选择性吸收膜系自下而上依次包括镀制在金属衬底上的氮氧化钛薄膜、二氧化钛薄膜、氮化硅薄膜以及二氧化硅薄膜。本发明的吸收膜系对太阳能的吸收率大于96%，发射率小于4%，具有光热转换效率高和集热效率高以及颜色可调的特点。本发明的吸收膜系具有在保持良好吸收率和发射率的前提下，调节外观颜色的特点，丰富多彩的外观颜色可更好地实现太阳能集热产品与建筑一体化，满足太阳能热水器、太阳能空调等光热产品的美观、多样和个性化需求。本发明的吸收膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积衬底上连续镀制，易于实现大规模工业化生产。

主权项

一种颜色可调的太阳能选择性吸收膜系，其特征在于：在衬底（1）上依次为氮氧化钛薄膜（2）、二氧化钛薄膜（3）、氮化硅薄膜（4）以及二氧化硅薄膜（5），其中：所述的衬底（1）是Cu箔片，Al箔片，Al箔片、Ni箔片或不锈钢箔片上沉积一层Cu薄膜，或是在Al箔片、Ni箔片、不锈钢箔片或Cu箔片上沉积一层红外高反射的Ag薄膜；优选的，采用Cu箔片上沉积一层红外高反射的Ag薄膜；所述的氮氧化钛薄膜（2）TiNxOy中，Ti、N、O三种元素的原子比范围为Ti:N:O=1:0.5~1:0.5~2，厚度为40nm～200nm；所述的二氧化钛薄膜（3）厚度为0nm～60nm，由二氧化钛薄膜的厚度来调节膜系减反中心波长的位置，进而调节膜系的颜色；所述的氮化硅薄膜（4）厚度为20nm～100nm；所述的二氧化硅薄膜（5）厚度为50nm～150nm。