[发明专利]坩埚下降法晶体生长炉的下降装置有效
申请号: | 201210509805.X | 申请日: | 2012-12-03 |
公开(公告)号: | CN103046115A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 臧春雨;臧春和;姜晓光;李毅;葛济铭;万玉春;贾志旭 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 陶尊新 |
地址: | 130022 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 坩埚下降法生长晶体炉的下降装置,适用于晶体质量对外界振动敏感的晶体的生长,属于晶体生长技术领域。现有技术存在中频和低频振动,通过坩埚形成对晶体生长的干扰,降低了晶体质量。本发明之坩埚下降法生长晶体炉的下降装置其特征在于,升降杆下端的活塞位于液压缸中;位于液压缸底部的滴油阀一端通向液压缸内部,另一端通向储油槽;安装在临近升降杆侧壁处的位移传感器与降速控制器连接,降速控制器与滴油阀的控制部分连接。采用本发明下降法生长无掺杂LiCaAlF6晶体,晶体直径20 mm、长度200 mm,单晶结构完整,劈裂获得的晶体解理面光滑平整,切割截取晶体中部测量,其应力双折射小于10 nm/cm,吸收系数小于2×10E-3,损伤阈值得以提高。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 下降 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
一种坩埚下降法晶体生长炉的下降装置,其特征在于,升降杆(1)下端的活塞(2)位于液压缸(3)中;位于液压缸(3)底部的滴油阀(4)一端通向液压缸(3)内部,另一端通向储油槽(5);安装在临近升降杆(1)侧壁处的位移传感器(6)与降速控制器(7)连接,降速控制器(7)与滴油阀(4)的控制部分连接。
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