[发明专利]一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法有效
| 申请号： | 201210512814.4 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103058126A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 孟丽娜;路文一;闫海;郭亚北;陈艳 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及石英微机械加工技术领域，具体是涉及一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法。清洗三维石英微机械结构的金属膜表面；在清洗后的金属膜表面上喷胶得到光刻胶层，然后对光刻胶层进行曝光、显影，最后进行光刻胶层的坚膜；采用光刻胶层作掩膜，用化学腐蚀的方法对金属膜进行腐蚀，然后去除光刻胶层，完成三维微机械结构表面电极的加工。可对不同尺寸和形状的晶片进行喷胶，同时也可对大深宽比的三维石英微机械结构侧壁进行均匀涂胶；通过超声喷雾式喷胶，改善了三维微机械结构上光刻胶层的均匀性。通过在显影步骤中增加超声清洗环节，降低了光刻胶层对三维石英微机械结构基底材料的粘附性，杜绝了电极加工时的短路情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 石英 微机 结构 表面 电极 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种三维石英微机械结构表面电极的加工方法，其特征在于该方法的步骤包括：1)清洗三维石英微机械结构的金属膜表面；2)在清洗后的金属膜表面上喷胶得到光刻胶层，然后对光刻胶层进行曝光、显影，最后进行光刻胶层的坚膜；3)采用光刻胶层作掩膜，用化学腐蚀的方法对金属膜进行腐蚀，然后去除光刻胶层，完成三维微机械结构表面电极的加工。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司，未经北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210512814.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多层扫气发动机
- 下一篇：一种苦荞酱油深层发酵工艺
